Product
製品情報
X線リソグラフィー
超微細、超精密、特殊形状の製作が可能なX線リソグラフィー
X線マスク製作からサブミクロン精度形成まで、今までにない新しい形状が製作可能です。
| 用途 | 高アスペクトパターン形成、コーナーキューブ形状、パイル形状、テーパー形状などの特殊パターン形成、及びそれらの金型形成 |
|---|---|
| 特徴 | 今までにない特殊な形状が製作可能 サブミクロンオーダーの精度形成が可能 高アスペクトなパターン形成が容易 |
| 仕様 | 仕様についてはご相談ください。柔軟に対応いたします。 |